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离子刻蚀机是一种用于微电子制造领域的关键设备，主要用于刻蚀硅片表面的微小缺陷。随着使用时间的增加，离子刻蚀机的性能和效率都会受到影响，因此预测其剩余寿命非常重要。本文将介绍离子刻蚀机的工作原理、影响因...
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